[发明专利]一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911199784.4 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN110760853B 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 张光华;李慧;张万斌 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: C07D233/00 分类号: C07D233/00;C23F11/14
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 王晶
地址: 710021 陕西省*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂及其制备方法,首先,通过有机酸与二乙烯三胺反应制备得到咪唑啉中间体;其次,将聚乙二醇单甲醚加热融化后滴加三聚氯氰丙酮溶液反应得到聚醚三聚氯氰;再于聚醚三聚氯氰中加入乙二胺,反应得到双子聚醚三聚氯氰,最后,于双子聚醚三聚氯氰中加入咪唑啉中间体反应得到一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂。发明的有益效果在于,所得缓蚀剂具有良好的水溶性和缓蚀效果,60ppm用量下,缓蚀率均达到96%以上。
搜索关键词: 一种 水溶性 双子 咪唑 啉缓蚀剂 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种水溶性双子聚醚咪唑啉缓蚀剂,其特征在于,利用咪唑啉乙二胺分子结构中的氨基、聚乙二醇单甲醚的羟基,分别与三聚氯氰的氯发生取代反应,将聚乙二醇链段、咪唑啉以化学键通过三聚氯氰桥连成水溶性双咪唑啉分子,其具有以下结构:/n
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