[发明专利]飞秒激光快速制备高长径比聚合物微柱的系统及方法有效
| 申请号： | 201911201183.2 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN112872591B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李家文;潘登;胡衍雷;吴东;褚家如 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 纪志超 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种飞秒激光快速制备高长径比聚合物微柱的系统及方法，利用空间光调制器将普通聚焦焦点调制成高长径比的针状光场，以生成高长径比的针状目标光束，将针状目标光束聚焦至待加工样品上，只需要单次曝光即可加工高长径比微结构。该系统和方法加工效率高、步骤简单，且成本低，不需要复杂的工序和昂贵的刻蚀设备，是一种灵活、高效、快速和低成本的高长径比聚合物微柱加工的系统架构。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 快速 制备 长径 聚合物 系统 方法 | ||
【主权项】：
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