[发明专利]监测具有悬空结构的传感器释放状态的方法有效
| 申请号： | 201911201489.8 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110849929B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 刘超;傅剑宇;侯影;刘瑞文;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/00 | 分类号： | G01N25/00;G01N25/20;G01N25/72;G01R31/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良;屠志力 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种监测具有悬空结构的传感器释放状态的方法，包括以下步骤：根据热学参数计算公式获得器件的理论热学参数值；采用电学等效测试法，测得器件的实际热学参数值；对比器件的理论热学参数值和实际热学参数值，并根据热学参数与释放工艺状态的映射模型，判断是否存在释放工艺缺陷以及缺陷类型。本发明提出的检测方法，不用破坏器件结构，且测试效率快、准确度高且适用于自动化测试。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 具有 悬空 结构 传感器 释放 状态 方法 | ||
【主权项】：
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