[发明专利]一种柔性CIGS太阳能电池片硒源加氢增强硒反应活性的系统有效
申请号: | 201911203726.4 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN110739370B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 瞿佳华;刘宽菲;任宇航 | 申请(专利权)人: | 尚越光电科技股份有限公司;浙江尚越新能源开发有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0749;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/54 |
代理公司: | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人: | 赵越剑 |
地址: | 311121 浙江省杭州市余杭区五*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性CIGS太阳能电池片硒源加氢增强硒反应活性的系统,包括硒源、氢气储罐、气体自动混合装置及混合气输出管道,所述气体自动混合装置包含硒蒸气控制阀门、氢气控制阀门及气体输送管道,硒源的硒蒸汽出口连接硒蒸气控制阀门的入口,氢气储罐的氢气出口连接氢气控制阀门的入口,硒蒸气控制阀门的出口连接气体输送管道的硒蒸气入口,氢气控制阀门的出口连接气体输送管道的氢气入口,气体输送管道的出口连接混合气输出管道的入口,硒蒸气控制阀门与氢气控制阀门联动。本发明能实现硒蒸汽和氢气的自动并均匀混合,能有效打开团簇Se并生成少量硒化氢,增加反应活性,减少薄膜的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 cigs 太阳能电池 片硒源 加氢 增强 反应 活性 系统 | ||
【主权项】:
1.一种柔性CIGS太阳能电池片硒源加氢增强硒反应活性的系统,其特征在于,包括硒源、氢气储罐、气体自动混合装置及混合气输出管道,所述气体自动混合装置包含硒蒸气控制阀门、氢气控制阀门及气体输送管道,硒源的硒蒸汽出口连接硒蒸气控制阀门的入口,氢气储罐的氢气出口连接氢气控制阀门的入口,,硒蒸气控制阀门的出口连接气体输送管道的硒蒸气入口,氢气控制阀门的出口连接气体输送管道的氢气入口,气体输送管道的出口连接混合气输出管道的入口,硒蒸气控制阀门与氢气控制阀门联动;/n系统的运行工艺如下:/n加热硒源产生硒蒸气,随着硒蒸气控制阀门的入口处的硒蒸气压的增大,从而推动硒蒸气控制阀门,硒蒸气进入气体输送管道中,随着硒蒸气控制阀门的入口处的压力不断增大,当达到工艺设定蒸气压时,氢气控制阀门的氢气通道导通,氢气进入到气体输送管道中和硒蒸气混合,最后随着硒源加热的关闭,硒蒸气控制阀门的入口处的硒蒸气压的减小,硒蒸气控制阀门和氢气控制阀门关闭,硒蒸气和氢气停止混合。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的