[发明专利]一种圆晶倒角工艺有效
申请号: | 201911204663.4 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN111037370B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 李茂欣;陈海军 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B9/06;B24B41/06;B24B41/04;B24B55/02;B24B41/02 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 谢绪宁;薛赟 |
地址: | 201600 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及圆晶加工技术领域,公开了一种圆晶倒角工艺,基于圆晶倒角装置,圆晶倒角装置包括转动件,转动件连有倒角轮,倒角轮开设倒角槽,倒角槽的开口方向与倒角轮的轴向垂直,工艺包括:S1:将圆晶送入倒角槽中;S2:圆晶的径向与倒角槽的开口方向呈该锐角角度;S3:启动转动件使倒角轮的转速逐渐增加,并且转速到达设定驱动转速后,转速不再增加;S4:倒角轮的转速逐渐增加时,圆晶的转速逐渐增加,并且转速到达设定圆晶转速后,转速不再增加;S5:圆晶反向转动锐角角度,圆晶的径向与倒角槽的开口方向平行;在倒角时,圆晶与倒角槽内壁之间的接触面积变小,缩小圆晶受温度变化影响的部位体积,提高圆晶边缘的倒角效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 倒角 工艺 | ||
【主权项】:
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