[发明专利]基于音叉共鸣的光热光谱痕量气体检测装置及方法有效
申请号: | 201911207243.1 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN111220551B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 马欲飞;乔顺达;胡寅秋;王瑶;于欣;彭江波 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/63 |
代理公司: | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人: | 高媛 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于音叉共鸣的光热光谱痕量气体检测装置及方法,所述装置包括激光器、激光准直系统、气室、第一石英音叉、第二石英音叉、阻抗放大器、控制与数据采集系统、计算机,其中:激光器经过控制与数据采集系统调制后输出激光,经激光准直系统后入射到气室内,待测目标气体吸收激光能量后,激光从气室出射并照射在第一石英音叉上;第一石英音叉吸收出射激光能量发生周期性的弹性形变进而产生振动,第二石英音叉产生共同振动,从而产生电流信号;阻抗放大器将电流信号放大为电压信号;控制与数据采集系统和计算机对放大后的电压信号进行采集和处理,反演出探测气体的浓度。本发明避免了热噪声源,减小了系统内噪声的引入。 | ||
搜索关键词: | 基于 音叉 共鸣 光热 光谱 痕量 气体 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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