[发明专利]均匀压强的群组粘接系统和方法有效
| 申请号： | 201911208324.3 | 申请日： | 2019-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110880546B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 马维远;李宗霑 | 申请（专利权）人： | 伊乐视有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/62 | 分类号： | H01L33/62;H01L33/48;H01L25/075;G09F9/33 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 孙芬;陈敬华 |
| 地址： | 美国华盛顿州(邮编98683)温*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了使用具有弹性表面的材料媒介均匀传导来自上腔体的压强以利群组粘接系统和制造方法。通常，弹性表面是杨氏模量在40千帕至1000千帕范围内的弹性体材料。在将多个元件沉积在基板的上表面上之后，将基板放置于下板上，基板的上表面位于弹性表面的下方并与弹性表面相邻(紧邻)。该方法在可膨胀的上腔室中产生上腔室正的介质压强差，从而导致弹性表面变形。例如，上腔室正的介质压强差可以在0.5个大气压和10个大气压的范围内。通常，响应于上腔室介质的正压强差，弹性表面在0.05毫米和20毫米之间变形。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 压强 群组粘接 系统 方法 | ||
【主权项】：
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