[发明专利]操作气体供应装置的方法、气体供应装置和粒子辐射设备在审
| 申请号： | 201911209896.3 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111354612A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | A.施蒙兹 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 孟婧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于操作气体供应装置(1000)的方法，其中将该气体供应装置(1000)的功能参数显示在显示装置(124)上。另外，本发明涉及一种用于执行该方法的气体供应装置(1000)以及一种具有气体供应装置(1000)的粒子辐射设备(100)。该方法包括预定和/或用温度测量单元(1006)来测量该气体供应装置(1000)的前体储器(1001)的当前温度，其中该前体储器(1001)具有用于供应到物体(125，425)上的前体；将与该前体储器(1001)的当前温度相关的、该前体通过该前体储器(1001)的出口(1004)的流速从数据库(126)中加载到控制单元(123)中，以及(i)在该显示单元(124)上显示该流速和/或(ii)在使用该控制单元(123)的情况下取决于该流速来确定该前体储器(1001)的功能参数，并且将所确定的功能参数通知该气体供应装置(1000)的使用者。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 气体 供应 装置 方法 粒子 辐射 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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