[发明专利]一种样品搬运机构

摘要

本发明提供一种样品搬运机构，属于超高真空样品传递技术领域，该搬运机构包括样品台、样品底座、抓手。样品台包括用于放置样品的平台和与平台底面固定连接的支架，支架由若干弹片围成圆形或方形，若干弹片内部设有一圈向外凸起的凹槽，样品底座上设有可插入支架的柱体，柱体上设有沿周边与凹槽相配合的连续或断续分布的凸台，柱体插入支架时，柱体外表面与弹片内表面接触，凸台与凹槽扣合。抓手用于抓放样品台，将样品台套入或拔出样品台底座。本发明结构简单，操作方便，其样品台与样品台底座采用分体式结构，样品台与样品台底座的连接采用若干弹片插接扣合方式，利用这种通用的样品搬运机构，可在不同超真空系统间进行样品的相互传递。

主权项

1.一种样品搬运机构，其特征在于：其包括样品台、样品台底座、抓手，样品台可与样品台底座及抓手连接；所述样品台包括用于放置样品的平台和与平台底面固定连接的支架，所述支架由若干弹片围成，所述若干弹片内部设有一圈向外凸起的凹槽；所述样品台底座上设有可插入支架的柱体，柱体上设有与凹槽相配合的凸台，柱体插入支架时，柱体外表面与弹片内表面接触，凸台与凹槽扣合；所述抓手包括机械手前爪、连接杆、连接轴、抓放轴、抓手外套，一对连接杆一端通过连接轴与抓放轴连接，另一端与一对机械手前爪连接，机械手前爪固定在抓手外套上，抓放轴设置在抓手外套内，可通过控制抓放轴的移动带动机械手前爪的张合抓取样品台，将样品台套入或拔出样品台底座。/n