[发明专利]数据处理方法及装置有效
| 申请号： | 201911211405.9 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110850692B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李璟;武志鹏;赵晓东;卢增雄;折昌美;谢冬冬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G06K9/62 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种数据处理方法，应用于集成电路技术领域，包括：利用双通道交替采集光强信号，对该双通道采集到的光强信号分别进行解调、滤波和归一化处理，得到多个数据包，利用并行计算方法，对各数据包分别进行数据拟合，得到各数据包的对准标记位置值，对该各数据包的对准标记位置值进行位置数据融合，得到对准位置。本申请还公开了一种光刻机对准系统，可提高对准位置解算的精度和计算速度。 | ||
| 搜索关键词： | 数据处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
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