[发明专利]晶圆轮廓图的构造方法有效
| 申请号： | 201911211570.4 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111089539B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 武志鹏;李璟;王丹;谢冬冬;齐威;陈进新;胡丹怡 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种晶圆轮廓图的构造方法，该方法包括根据晶圆属性信息及晶圆上Die的属性信息，绘制初始晶圆高度轮廓图，其中，晶圆属性信息包括晶圆的尺寸及方向，Die的属性信息包括Die的数量、尺寸及几何分布；在初始晶圆高度轮廓图中确定晶圆的原点，以原点建立晶圆平面内的坐标系，得到晶圆上各Die的位置坐标；对晶圆按照预设顺序进行扫描，得到晶圆的高度轮廓信息，其中高度轮廓信息包括晶圆上各Die的高度信息及位置坐标；根据位置坐标，将各Die的高度信息添加至初始晶圆高度轮廓图中，生成晶圆轮廓图。该方法可通过三维图形化和数字化的方式，将已获得的晶圆高度信息进行可视化展示，并且可直接将Die与Die的差异展示出来。 | ||
| 搜索关键词： | 轮廓 构造 方法 | ||
【主权项】：
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