[发明专利]透光性构件的表面缺陷检查方法及装置在审
| 申请号： | 201911211708.0 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN111272761A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 龟冈康弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社小糸制作所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张晋逾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供检查设备相对于透光性的被检查体的配置的自由度高且高精度地检查被检查体的表面缺陷的方法及装置。将由透光部和遮光部交替地连续的亮暗图案形成用遮光物和照明光源构成的图案照射单元配置于透光性的被检查体的背面侧，利用拍摄单元透过被检查体拍摄图案照射单元照射的亮暗图案，作为图像处理装置的检测单元基于拍摄图像中的出射光量(亮度)的变化来检查被检查体的表面缺陷的有无。由于调整拍摄单元的景深以使亮暗图案的拍摄图像变为没有亮暗边界的均匀灰色，所以微小的缺陷也作为光斑而明显化，检测单元的缺陷的检测精度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 透光 构件 表面 缺陷 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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