[发明专利]透光性构件的表面缺陷检查装置有效
| 申请号： | 201911211712.7 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN111272762B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 龟冈康弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社小糸制作所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供配置的自由度高且能够高精度地检查透光性被检查体的表面缺陷的装置。在透光性工件的背面侧配置图案照射单元，图案照射单元由透光部和遮光部连续的亮暗图案形成用遮光物和照明光源构成，利用隔着工件与照射单元正对的拍摄单元透过工件对照射单元照射的亮暗图案进行拍摄，图像信号处理部基于拍摄图像上的出射光量(亮度)的变化(光斑)检测工件的表面缺陷，利用光扩散单元将透过的透光部的光作为扩散光引导至遮光部侧，工件的暗部内的出射光量增加，相应地，促进暗部内的缺陷作为光斑的明显化，检测精度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 透光 构件 表面 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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