[发明专利]一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法在审
| 申请号： | 201911212384.2 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110926683A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 林琳;王迪;郜晨希;郑旭;刘瑞琪;远雁;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01B11/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法，激光反射原理的压力传感器包括：壳体，设置空腔，所述壳体的一端设置测压口，用于将所述空腔与一被测空间连通；膜片，内置于所述空腔内，能根据测压口压力变化而发生形变；且所述膜片与所述测压口相背对侧设置反射面；激光发射器，设置于所述膜片的反射面同侧，用于将激光入射到所述膜片的反射面上；四象限传感器，设置于膜片的反射面同侧，用于接收经反射面反射的激光。本发明利用光线反射原理替代常见的电容测量原理，利用反射的激光在四象限传感器的光敏面上形成光斑，所述光斑随所述膜片形变而发生位移变化，根据检测到的所述光斑的位移变化，得到所述测压口处的压力变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 反射 原理 压力传感器 及其 压力 传感 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911212384.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
