[发明专利]一种防沉积匀气环在审
| 申请号： | 201911212669.6 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110987282A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 郜晨希;林琳;张心强;王迪;刘瑞琪;郑旭;远雁;李超波;靳毅;陈林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L19/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种防沉积匀气环，该防沉积匀气环由圆周阵列的倾斜扭制的匀气环叶片堆叠而成，位于电容传感器支撑环上，用于阻止污染物沉积到传感器薄膜上。本发明提供的防沉积匀气环包括上下两层，该上下两层的匀气环叶片交替排列，从轴向可有效阻挡污染物沉积到膜片上。同时，匀气环叶片程一定倾角，保证气流可以在无阻挡下顺利流过匀气环叶片，保证工艺环境真空值准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 匀气环 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司，未经中国科学院微电子研究所;川北真空科技（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911212669.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
