[发明专利]一种高质量金刚石生长方法和系统有效
| 申请号： | 201911213935.7 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110820044B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 彭国令;黄翀 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/16;C30B25/20 |
| 代理公司： | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人： | 李大为 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高质量金刚石生长方法和系统。一种高质量金刚石生长方法，包括步骤：S1、对籽晶表面进行预处理后放入生长仓中，通入氢气和氧气对籽晶进行表面刻蚀15‑60min；S2、通入碳源生长金刚石；S3、判断生长时间是否达到第一时间，若是，执行步骤S4；若否，则执行步骤S5；S4、停止通入碳源，通入氧气刻蚀10‑30min，执行步骤S2；S5、检测金刚石的表面是否出现杂质，若是，则执行杂质处理操作，10‑30min后执行步骤S2；若否，则执行步骤S3。本方法能够无需选择高质量的金刚石片作为籽晶，降低了籽晶的成本，新生长的金刚石以层状进行生长，并且金刚石表面缺陷进行修补，降低表面缺陷数量，同时并未降低金刚石的生长速率，仍然维持在高的生长速率，不低于8μm/h。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质量 金刚石 生长 方法 系统 | ||
【主权项】：
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