[发明专利]一种硅片加工废水的处理方法及装置在审
| 申请号： | 201911214361.5 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN111410332A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 罗小勇;吴正雷;王磊;刘乐天;董凯;钟志君;庄力;杨晓明;彭文博;范克银;党建兵 | 申请（专利权）人： | 江苏久吾高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C01D1/28;C01D1/38;C01B33/037;C01B33/02;C02F101/10;C02F101/30 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 邓唯 |
| 地址： | 211806 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片碱蚀液冲洗废水的回收工艺及方法，更具体地是涉及一种含有氢氧化钾、硅酸钾、有机物的碱液的净化工艺，属于三废处理技术领域。包括固液分离膜过滤系统、纳滤膜过滤系统。所述的固液分离膜过滤系统位于纳滤膜过滤系统的前端。固液分离膜过滤系统包括但不局限于陶瓷固液分离膜、管式固液分离膜、板式固液分离膜以及中空纤维膜等。所述的纳滤膜过滤系统包括但不局限于卷式纳滤膜。其中纳滤膜设置两级。膜过滤系统设置若干个阀门用于调整系统的操作压力、进出水流量以及固液分离膜的反冲洗、化学清洗等。本发明具有过滤效果好、自动化程度高、适应性强、占地面积小等优点，因此本发明特别适用于硅片碱蚀液冲洗废水的回收。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 加工 废水 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
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