[发明专利]一种CVD金刚石生长在线检测方法和系统有效
| 申请号： | 201911214942.9 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110760817B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 彭国令;黄翀 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/511;G01B21/08;G01B11/06 |
| 代理公司： | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人： | 李大为 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石生长领域，尤其涉及一种CVD金刚石生长在线检测方法和系统。一种CVD金刚石生长在线检测方法，包括步骤：S1、检测装置实时检测金刚石生长厚度，生成并输送厚度数据到控制中心；S2、控制中心根据所述厚度数据生成实时生长曲线，所述控制中心读取当前金刚石生长环境数据，并根据所述环境数据将所述实时生长曲线与相同的环境数据的对比数据进行比对；S3、根据比对结果控制金刚石生长的相关操作。相较于现有技术，本发明提供的一种CVD金刚石生长在线检测方法，实现了一下技术效果：可以测量单颗金刚石、多颗金刚石、多晶金刚石膜的生长厚度，并进行实时监控，记录数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 金刚石 生长 在线 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种CVD金刚石生长在线检测方法，其特征在于，包括步骤：/nS1、检测装置实时检测金刚石生长厚度，生成并输送厚度数据到控制中心；/nS2、控制中心根据所述厚度数据生成实时生长曲线，所述控制中心读取当前金刚石生长环境数据，并根据所述环境数据将所述实时生长曲线与相同的环境数据的对比数据进行比对；/nS3、根据比对结果控制金刚石生长的相关操作。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
