[发明专利]线圈水平位置可动态调整的蚀刻机结构在审
| 申请号： | 201911215347.7 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112992633A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 林志隆;蔡兆哲;陈俊龙 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种线圈水平位置可动态调整的蚀刻机结构，其包括：第一电浆反应腔体；水平滑动模块，其具有：至少一个第一高度支撑件；第一水平支撑件；第一滑动件；及第二滑动件；线圈支架；以及线圈模块；其中第一滑动件及第二滑动件，使线圈模块在第一电浆反应腔体上方，进行X轴向或Y轴向的移动。借由本发明的实施，可以动态的完成反应腔室壁体上，各不同部位沉积物的清理。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈 水平 位置 动态 调整 蚀刻 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于聚昌科技股份有限公司，未经聚昌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911215347.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种节能保温板
- 下一篇：一种用于往复杆输送机构的平衡气缸组件
