[发明专利]直拉式单晶硅棒的生产设备在审
| 申请号： | 201911215990.X | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110760929A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 张小飞;张纪尧 | 申请（专利权）人： | 大连威凯特科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/12;C30B15/16 |
| 代理公司： | 21212 大连东方专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116000 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种直拉式单晶硅棒的生产设备，本发明包括：炉腔、炉底座，炉底座上开设供坩埚托杆升降的通孔，还包括：设置在炉腔和炉底座内侧的保温结构、设置在炉腔和炉底座外壁的多个微波发射器、设置在坩埚托杆上或是设置在石英坩埚与坩埚托杆之间的微波热源坩埚，炉腔金属外壁和炉底座金属外壁上与各微波发射器相对应位置开设供微波通过的微波馈孔，所述微波发射器用于向炉腔发射微波，所述微波热源坩埚用于将微波转化为热能。本发明采用微波能作为能量源加热熔融硅料，减少了热能层层传递而引起的热量损失，可以提高效率，同时降低能耗。精简了炉腔结构，去除了传统的石墨电极和石墨加热器，使腔内空间增大，可以增大坩埚尺寸，提高硅料装填率，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 炉底座 炉腔 微波发射器 微波 坩埚托杆 坩埚 金属外壁 微波热源 硅料 直拉式单晶硅 石墨加热器 相对应位置 保温结构 加热熔融 炉腔结构 热量损失 生产设备 生产效率 石墨电极 石英坩埚 装填 传统的 内空间 能量源 微波能 通孔 外壁 升降 发射 传递 转化 | ||
【主权项】：
1.一种直拉式单晶硅棒的生产设备，包括：炉腔、炉底座，所述炉底座上开设供坩埚托杆升降的通孔，其特征在于，还包括：设置在炉腔和炉底座内侧的保温结构、设置在炉腔和炉底座外壁的多个微波发射器、设置在坩埚托杆上或是设置在石英坩埚与坩埚托杆之间的微波热源坩埚，所述炉腔金属外壁和炉底座金属外壁上与各微波发射器相对应位置开设供微波通过的微波馈孔，所述微波发射器用于透过保温结构向炉腔发射微波，所述微波热源坩埚用于将微波转化为热能。/n
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