[发明专利]结构色颜料光学薄膜厚度的监测方法以及镀膜机有效

专利信息
申请号: 201911216216.0 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN112981357B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 马道远 申请(专利权)人: 宁波融光纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 李庆波
地址: 315000 浙江省宁波市奉化区经济开发区*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请公开了一种结构色颜料光学薄膜厚度的监测方法以及镀膜机,该方法包括:利用石英晶体监控系统对结构色颜料光学薄膜中各膜层的物理厚度进行全程监控;设定生产过程中需要简易光学监控系统监控的预设膜层;在开始制备预设膜层时,若简易光学监控系统监测到预设膜层的光学厚度达到时,则停止预设膜层的制备,并获取石英晶体监控系统监测到的预设膜层的物理厚度d,进而按照更新折射率n;获取材料与预设膜层的材料相同的其他各膜层的光学厚度并按照更新其他各膜层的物理厚度d′,进而在镀膜机制备材料与预设膜层材料相同的膜层时,石英晶体监控系统以更新后的物理厚度d′进行监控。本申请的方法能够精确地控制膜层的厚度。
搜索关键词: 结构 颜料 光学薄膜 厚度 监测 方法 以及 镀膜
【主权项】:
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