[发明专利]传感器元件及气体传感器在审
申请号: | 201911217526.4 | 申请日: | 2019-12-03 |
公开(公告)号: | CN111380939A | 公开(公告)日: | 2020-07-07 |
发明(设计)人: | 冈本拓;生驹信和;中曾根修 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | G01N27/419 | 分类号: | G01N27/419;G01N27/41;G01N27/30 |
代理公司: | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 王轶;郑雪娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 传感器元件(101)用于以极限电流方式检测富燃料气氛的被测定气体中的特定气体浓度,传感器元件具备:层叠体(各层(1~6)),在其内部设有将被测定气体导入并使其流通的被测定气体流通部;主泵单元(21),其具有配置于第一内部空腔(20)的内侧泵电极(22),用于调整第一内部空腔(20)的氧浓度;测定电极(44),其配置于第三内部空腔(61);以及基准电极(42),其配置于层叠体的内部,作为特定气体浓度的检测基准的基准气体导入至该基准电极。内侧泵电极(22)含有Pt和Au,利用X射线光电子分光法(XPS)测定所得的Au/Pt比(=Au露出的部分的面积/Pt露出的部分的面积)为0.3以上0.63以下。 | ||
搜索关键词: | 传感器 元件 气体 | ||
【主权项】:
暂无信息
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