[发明专利]基于交叠耦合板的隧穿场效应器件及制作方法在审
| 申请号： | 201911217899.1 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111063738A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 毛维;何元浩;高北鸾;杜鸣;马佩军;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336;H01L29/06 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于交叠耦合板的隧穿场效应器件，主要解决现有器件存在的随机杂质涨落及双极关态漏电的问题，其自下而上包括：衬底(1)、GaN基缓冲层(2)、P型In |
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| 搜索关键词： | 基于 交叠 耦合 场效应 器件 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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