[发明专利]测量仪器有效
| 申请号： | 201911218236.1 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111380465B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 小池保;船越胜也;菊地麻衣子 | 申请（专利权）人： | 富士通电子零件有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 胡海滔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种测量仪器，该测量仪器读取测量件，测量件包括在测量件的长度方向上布置的多个读取图案，每个读取图案包括在测量件的宽度方向上布置的多个图案，测量仪器包括：整平构件，其增加测量件的平坦度；以及第一读取器，在通过整平构件增加平坦度的状态下，第一读取器从测量件光学读取单个读取图案中包含的在宽度方向上布置的多个图案。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 仪器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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