[发明专利]一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法有效
| 申请号： | 201911219275.3 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN110988402B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 蒋丽梅;陈强;姜杰;廖佳佳;刘文燕 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20;G01Q60/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法，包括：将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜；将弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配，形成双重服役柔性铁电薄膜；将双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配，形成多重服役柔性铁电薄膜；利用PFM检测多重服役柔性铁电薄膜的性能。本方法采用PFM作为观测手段，操作方便，可无损观测到样品纳米级的畴结构和电学性能，为柔性铁电薄膜的微观作用机制提供了可靠的研究手段；将PFM仪器中温控载台与高压载台进行了组装与联用，使仪器既可以在高温下，又可以在高压下测量柔性铁电薄膜的性能，为铁电存储器在高温环境下的工作状态提供实验依据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多重 服役 条件下 柔性 薄膜 pfm 检测 方法 | ||
【主权项】：
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