[发明专利]一种基于原子层沉积方法的层间剥离方法及其在纳米复合材料制备上的应用在审
申请号: | 201911220311.8 | 申请日: | 2019-12-03 |
公开(公告)号: | CN110983288A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 李爱东;子陶清;赵希瑞;曹燕强;吴迪 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | C23C16/01 | 分类号: | C23C16/01;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/56;C23C16/40;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 贺翔 |
地址: | 210023 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种基于原子层沉积方法的层间剥离方法及其在纳米复合材料制备上的应用,属于纳米功能复合材料制备领域,可以同时实现层状材料的层间剥离和纳米复合粉末材料的制备,获得的材料比表面积明显改善。本发明选用层状材料粉末作为担体;在所述担体上利用原子层沉积(ALD)技术沉积包覆层,得到复合粉末样品;将ALD沉积获得的复合粉末样品进行热处理退火,所述包覆层结晶把层状材料层间撑开剥离,获得高比表面的复合层状纳米材料;重复步骤上述步骤实现基于ALD技术对层状材料的多次层间剥离,进一步增加复合层状纳米粉末材料的比表面积。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 原子 沉积 方法 剥离 及其 纳米 复合材料 制备 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的