[发明专利]基板处理装置及利用此的基板处理方法在审
| 申请号： | 201911220979.2 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112017935A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 崔大俊;李寅宰;金泰学 | 申请（专利权）人： | 圆益IPS股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道平*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及基板处理装置及利用此的基板处理方法，更详细地说，涉及利用等离子体在基板表面执行基板处理的基板处理装置及利用此的基板处理方法。本发明还公开了一种基板处理装置，包括：工艺腔室(100)、气体喷射部(200)及基板支撑部(300)，所述工艺腔室(100)形成密封的处理空间(S)，所述气体喷射部(200)设置在所述工艺腔室(100)上侧并喷射用于基板处理的工艺气体及用于清扫所述工艺腔室(100)内部的腔室清扫气体(CCG)，所述基板支撑部(300)设置在所述工艺腔室(100)并且安装有一个以上的基板(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于圆益IPS股份有限公司，未经圆益IPS股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911220979.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：流体密封的发动机悬置
- 下一篇：用于车辆的无线电力传输装置
