[发明专利]一种等离子处理系统及其控制方法在审
| 申请号： | 201911221213.6 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN112908820A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李义群 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 虞凌霄 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子处理系统，包括：真空腔体，等离子发生部件，控制装置，以及与控制装置电连接的下部电极、第一匹配器、第二匹配器、第一射频电源、第二射频电源；所述真空腔体内设置有样品座，样品座的外围设置有至少一个超声波发生装置，超声波发生装置与控制装置电连接；所述下部电极设置在样品座处；所述第一匹配器的一端与第一射频电源连接，第一匹配器的另一端与下部电极连接；第二匹配器的一端与第二射频电源连接，第二匹配器的另一端与等离子发生部件连接。另外，还公开了相应的控制方法。采用本发明提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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