[发明专利]一种管式PECVD工艺镀膜时间监测的预警装置

摘要

本发明涉及管式PECVD工艺镀膜领域。一种管式PECVD工艺镀膜时间监测的预警装置，包括厚度传感器、PLC控制模块、报警装置、显示器，厚度传感器安装在镀膜机内部，通过PLC控制模块设置镀膜厚度和镀膜时间。本发明提供了一种管式PECVD工艺镀膜时间的监测装置，有效的做到能实时监测DLV录入值是否在范围之内。这对工艺配方起到了警示防错作用，减少操作员因误操作而造成镀膜时间异常而使产线不合格率上升。