[发明专利]一种半导体材料有机物去除烧结炉在审
| 申请号： | 201911222081.9 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111023802A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 石坚;李杰;于友 | 申请（专利权）人： | 山东九思新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F27B9/24 | 分类号： | F27B9/24;F27B9/12;F27B9/40;F27B9/30;F27D9/00 |
| 代理公司： | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人： | 曹媛媛 |
| 地址： | 273213 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种半导体材料有机物去除烧结炉，属于半导体材料处理技术领域，包括炉体，所述炉体上部设有料仓，所述料仓上部设有上料输送带，所述炉体分别通过翻料机构从上到下依次分割为预热区、加热区、保温区和冷却区，炉体下部设有接料输送带。待处理的半导体材料通过上料输送带向料仓内输送，半导体材料从料仓向下依次经过预热区、加热区、保温区和冷却区，完成对半导体材料有机物的高温加热去除，通过翻料机构实现相邻作业区的下落，处理有机物杂质效果好，能批量、系统的去除，作业效率高，结构简单，使用便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 有机物 去除 烧结炉 | ||
【主权项】：
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