[发明专利]一种极紫外波段超宽带多层膜的制备方法在审
| 申请号： | 201911222937.2 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN110850520A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 郭涛;喻波;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B27/00;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 田媛媛 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种极紫外波段超宽带多层膜的制备方法，包括：制备不同周期厚度的Mo/Si周期性多层膜；得到第一界面扩散层的平均厚度及第二界面扩散层的平均厚度，并得到Mo膜层厚度、Si膜层厚度与基底公转速度的关系式；根据指标要求利用四层模型进行膜系设计，得到Mo、Si膜层厚度序列；根据Mo、Si膜层厚度序列及关系式制备极紫外波段超宽带多层膜。本申请公开的上述技术方案，将Mo膜层与Si膜层接触所形成的第一界面扩散层和第二界面扩散层分别视为单独的一层，并采用四层模型进行极紫外波段超宽带多层膜膜系设计及制备，从而提高极紫外波段超宽带多层膜的控制精度，以解决超宽带多层膜的实际制备反射率偏离设计值的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 波段 宽带 多层 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911222937.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种食品自动化封装设备
- 下一篇：一种便携式智能焊接机器人
