[发明专利]体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911226194.6 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111245393B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;郝龙;徐洋;张孟伦;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：所述底电极具有至少一个空隙层，在底电极的厚度方向上，所述空隙层与所述底电极的顶面与底面均存在距离；底电极还包括晶种层，所述晶种层限定所述空隙层的上侧与下侧中的至少一侧。本发明还涉及一种体声波谐振器的制造方法，一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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