[发明专利]一种膜厚样片及膜厚样片的制备方法有效
| 申请号： | 201911226289.8 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111024016B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 韩志国;梁法国;李锁印;邹学峰;赵琳;冯亚南;许晓青 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04;G01B11/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 付晓娣 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明适用于仪器校准技术领域，提供了一种膜厚样片及膜厚样片的制备方法，所述膜厚样片包括：样片载体和至少两个样片本体，其中，各样片本体的薄膜厚度和/或薄膜类型不同，所述各样片本体衬底朝下粘贴在所述样片载体上，所述样片载体上设有用于指示各样片本体的薄膜厚度和薄膜类型的样片标识。本发明能够在对椭偏仪进行校准时，可以直接移动样片载体实现不同样片本体的替换，而无需取出样片、更换样片，从而增加了校准时的便捷程度，提高了对椭偏仪校准的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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