[发明专利]玻璃基板通孔的激光加工方法和装置在审
| 申请号： | 201911227394.3 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112894146A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 张小军;彭裕国;苑学瑞;任莉娜;邱越渭;卢建刚;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/067;B23K26/70;B23K26/146 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 吴英铭 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于激光加工的技术领域，特别是涉及一种玻璃基板通孔的激光加工方法和装置。该玻璃基板通孔的激光加工方法包括通过贝塞尔光束发生单元将激光器发射的第一激光束分离为对称且具有贝塞尔分布的第一光束和第二光束；再通过聚焦单元进行聚焦，生成具有预设聚焦光斑和预设焦深的加工激光束；令加工激光束在玻璃基板上以预设加工路径进行扫描；将扫描之后的所述玻璃基板放置在预设的腐蚀性溶液中；在预设时间之后自所述腐蚀性溶液中取出沿所述预设加工路径形成通孔的所述玻璃基板。本发明的玻璃基板通孔的激光加工方法，时间成本低，效率高且通孔质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 基板通孔 激光 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
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