[发明专利]一种低温漂压力传感器在审
申请号: | 201911227446.7 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN110806279A | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;吴登峰;李凡亮 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L1/02 | 分类号: | G01L1/02;G01L7/18 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 周琼 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及压力传感器技术领域,且公开了一种低温漂压力传感器,包括壳体,所述壳体上端面设有连接管,所述连接管的顶部连接有封盖,所述壳体的上端面且位于连接管的内部设有保护套,所述保护套的内部设有与壳体上端面连接的压力感应芯片,所述压力感应芯片的外表面连接有贯穿保护套的金丝。该低温漂压力传感器,通过将压力感应芯片和金丝设置在隔离室的顶部,并通过连通孔将压力感应芯片连通,使隔离液和压力感应芯片接触,减少隔离室的体积以及压力感应芯片和隔离液的接触面积,进而降低了隔离液的温漂对压力感应芯片的影响;并且金丝不与隔离液接触,不存在密封性的问题,简化结构,实现了低温漂的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 低温 压力传感器 | ||
【主权项】:
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