[发明专利]一种可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列及其制备方法

摘要

本发明公开了一种可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列及其制备方法，所述可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列包括芯片和集成在芯片中SiO2层上的3×3红绿蓝三色PIN光电二极管阵列，所述红绿蓝三色PIN光电二极管阵列y轴方向依次按照绿光光电二极管、红光光电二极管、蓝光光电二极管排列，x轴方向为单色光电二极管。本发明所述的可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列通过将三种颜色的光电二极管集成在同一芯片上，同时三色PIN光电二极管的厚度一致且很薄，本发明的结构增强了器件的集成度，减小了器件体积；提高了器件的响应带宽及量子效率。