[发明专利]光学对位检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201911228783.8 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112902835A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 林翊涵;蔡姓贤 | 申请（专利权）人： | 阳程科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 侯奇慧 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学对位检测装置及其检测方法，该检测设备的光源发射器来投射激光光源至非偏极化分光镜，并利用非偏极化分光镜来将激光光源分光成第一激光光源及第二激光光源，且该第一激光光源为投射至第一光检测器，而该第二激光光源为穿透过欲检测的光学镜片组，再投射至第二光检测器，再利用算法来使第一激光光源的光源强度信号与第二激光光源的光源强度信号计算出一个减少噪声影响的光源强度信号，其因非偏极化分光镜可将激光光源分光回授至第一光检测器，所以可利用第一光检测器的光源强度信号来对第二光检测器的光源强度信号进行运算，以减少光源强度信号中的低频扰动、噪声影响，进而提升光源强度信号检测时的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 对位 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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