[发明专利]一种用于多点光谱探测的三维自扫描装置在审
| 申请号： | 201911228963.6 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110823815A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 杨蕊竹;李强;吴吉良;叶小球;陈长安;冯春蓉;王雪峰;严俊 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/27;G01B11/25;G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人： | 王育信 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多点光谱探测的三维自扫描装置，包括光学反射系统、光学聚焦单元、电控三维平移系统、光学成像系统、计算机控制单元；光学反射系统用于将探测光反射，并经光学聚焦单元聚焦后照射到样品表面；电控三维平移系统用于带动光学反射系统和光学聚焦单元移动，以调整光学反射系统和光学聚焦单元与固定样品之间的相对位置，使探测光以移动的方式照射到样品表面各个位置上；光学成像系统用于接收由样品表面反射过来的光线并进行成像，获得样品表面形貌图像；计算机控制单元用于控制电控三维平移系统和光学成像系统工作。本发明能实现光谱探测光的自扫描，克服了现有光谱mapping功能依赖于样品台移动而无法分析固定或大型样品的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多点 光谱 探测 三维 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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