[发明专利]一种探头旋转按压机构在审
申请号: | 201911229589.1 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN110906855A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 马达;张延凯 | 申请(专利权)人: | 苏州精濑光电有限公司 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙) 32299 | 代理人: | 陈瑞泷 |
地址: | 215100 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请涉及一种探头旋转按压机构,探头能够进行升降,探头下降后接触到膜后可以测量膜的电阻值并进一步测量膜的厚度,当探头沿一个方向测量完毕后,再由旋转驱动件驱动探头旋转一定角度后,调整完探头的角度再进行电阻值的测量,从而可以实现对基板膜的多个方向的均匀的检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 探头 旋转 按压 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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