[发明专利]一种改善PERC太阳能电池载流子衰减的方法及设备有效
申请号: | 201911231466.1 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN111129211B | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 杨苏平;黄石明;曾超;李娟;林纲正;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱旭科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种改善PERC太阳能电池载流子衰减的方法,其包括:(1)降低太阳能电池的光致衰减;(2)将太阳能电池在300‑600℃进行退火;(3)将退火后的太阳能电池预热至250‑450℃;(4)将太阳能电池在第一温度范围内进行第一光照处理,持续第一时间;(5)将太阳能电池在第二温度范围内进行第二光照处理,持续第二时间;(6)将经过第二光照处理后的太阳能电池通入电流;(7)将太阳能电池冷却至室温。本发明通过退火、预热、高温光热处理、低温光热处理、电注入和冷却的工序,有效降低了氢化衰减和杂质引起的衰减,同时促进了H和B‑O复合体由不稳定态再生恢复为钝化稳定态,从而有效降低太阳能电池的CID衰减率,提升了其转换效率和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 改善 perc 太阳能电池 载流子 衰减 方法 设备 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的