[发明专利]一种气相沉积炉内气体悬浮装置

摘要

本发明提供了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括平行设置并且旋转配合的石墨盘和底座，所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述第一分气孔、第二分气孔分别位于所述主进气孔的两侧，所述第一分气孔、第二分气孔分别与所述主进气孔交汇连通于同一点。本发明的有益效果是：在主进气孔的同一位置分出第一分气孔、第二分气孔，再分别通过第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔产生旋转气体，推动石墨盘悬浮并转动，保证了气体流动阻力一致，有效保证了两倾斜气体流量一样，悬浮效果好，旋转顺畅，可显著提高薄膜均匀性以及质量，并有效延长装置的使用周期。

主权项

1.一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括平行设置并且旋转配合的石墨盘和底座，其特征在于：所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述第一分气孔、第二分气孔分别位于所述主进气孔的两侧，所述第一分气孔、第二分气孔分别与所述主进气孔交汇连通于同一点，所述第一分气孔与所述第一倾斜出气孔连接，所述第二分气孔与所述第二倾斜出气孔连接，所述主进气孔、第一分气孔、第一倾斜出气孔连通形成第一气道，所述主进气孔、第二分气孔、第二倾斜出气孔连通形成第二气道，所述第一气道、第二气道用于产生旋转气体，推动所述石墨盘悬浮并转动。/n