[发明专利]磁性隧道结结构及其应用的磁性随机存储器在审
| 申请号： | 201911233601.6 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN112928202A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张云森;郭一民;陈峻;肖荣福 | 申请（专利权）人： | 上海磁宇信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L27/22 |
| 代理公司： | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 | 代理人： | 于晓菁 |
| 地址： | 201815 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种磁性隧道结结构及磁性随机存储器，所述磁性隧道结结构包括三亚层的多层材料结构形成的覆盖层。本申请通过多层覆盖层结构设计及其工艺，增加来源于覆盖层与自由层界面效应的自由层磁垂直各向异性，并可在结电阻面积积缩小的前提下，保持相对较高的隧穿磁阻率，同时避免覆盖层在沉积或/和退火工艺中，被沉积的金属损伤自由层/底部覆盖层的界面而导致的磁垂直各向异性减弱的风险，以保持热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 隧道 结构 及其 应用 随机 存储器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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