[发明专利]一种空气光导塑闪探测器的导光层及其制作方法在审
申请号: | 201911234161.6 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN110865407A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 姚飞;张锐;蒋伟;李进;侯鑫;甘霖;曹舟 | 申请(专利权)人: | 绵阳市维博电子有限责任公司 |
主分类号: | G01T1/203 | 分类号: | G01T1/203;G03F7/00 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 熊曦 |
地址: | 621000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种空气光导塑闪探测器的导光层及其制作方法,本发明涉及大面积辐射探测器领域,本发明按照探测器的闪烁片表面各点光收集效率归一化因子,采用UV光刻技术改变特氟龙薄膜基材光路特性,在氟龙薄膜每个区域通过采用固定光刻时间,通过区域的重叠,在特氟龙膜的不同位置上形成不同的透射、反射比;采用导光层后,使现有空气光导塑闪探测器的远距离点光搜集效率增加,同时近距离点的过饱和光搜集效率降低,最终达到各点光收集效率一致,通过本发明使面积350mm*150mm的探测器的均匀性偏差从±80%减小到±15%和±25%,同时保持对射线整体探测效率不变;导光层制作通过机器光刻实现,制作方法自动化程度高,一致性好,满足批量生产要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 空气 光导塑闪 探测器 导光层 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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