[发明专利]一种用于高精度检测发散光束光轴垂直度的方法及装置有效
| 申请号： | 201911237639.0 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN111220095B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 王爽;杨艺 | 申请（专利权）人： | 凌云光技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于高精度检测发散光束光轴垂直度的装置及方法，所述装置包括安装底座(1)，在所述安装底座(1)上设置有安装支架(2)，在所述安装支架(2)上设置有透光片(3)，在所述透光片(3)下方设置有反射镜(4)，所述反射镜(4)与所述透光片(3)相对，并且，所述反射镜(4)与所述透光片(3)平行，在所述反射镜(4)旁侧设置有相机(5)，所述装置还包括用于数据处理的处理器(6)，本申请提供的方法根据光的透射以及反射原理，利用发散光束由透射以及反射在透光片上所形成两个光斑的中心距来检测所述发散光束的光轴垂直度，使检测装置的设置达到最简化，检测结果的精度最优。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高精度 检测 发散 光束 光轴 垂直 方法 装置 | ||
【主权项】：
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