[发明专利]谐振器的制备方法和谐振器在审
| 申请号： | 201911237645.6 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN110995196A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 程诗阳;吴珂;李杨;王超 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（新加坡）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 葛燕婷 |
| 地址： | 新加坡卡文迪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了谐振器的制备方法和谐振器，谐振器的制备方法包括空腔形成步骤，提供基层材料，自所述基层材料的顶面开设空腔，并在空腔内沉积第一牺牲层；释放槽形成步骤，在基层材料的顶面沉积形成与空腔对应的第一底电极，同时形成位于第一底电极上的释放槽，释放槽的投影至少部分位于空腔上，在释放槽内沉积第二牺牲层；释放孔形成步骤，在基层材料和第一底电极上成型压电层，在压电层上开设贯穿其的释放孔，释放孔的投影至少部分位于释放槽上；通过释放孔蚀刻释放第一牺牲层和第二牺牲层，制得谐振器。本发明谐振器的制备方法在制造谐振器时，不用在空腔的边缘向外延伸释放槽，减小了空腔需要释放的体积，从而有效提升了牺牲层的释放效率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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