[发明专利]一种磁过滤管道在审
| 申请号： | 201911239897.2 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110747437A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳晓平;华青松;何卫锋;何光宇;罗军;陈琳;张旭;吴先映;庞盼;韩然;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学;稳力(广东)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 11569 北京高沃律师事务所 | 代理人： | 王立普 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磁过滤管道，涉及磁过滤技术领域，包括：第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管的一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内用于填充冷水。所以，本发明克服了现有技术磁过滤管道存在的尺寸小以及膜层沉积效率低的缺陷，本发明能够提高膜层沉积效率，并有利于降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形管 磁过滤管道 膜层沉积 凸起 阴极靶材 磁过滤 真空室 法兰 内壁 填充 出口 | ||
【主权项】：
1.一种磁过滤管道，其特征在于：包括第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内填充冷水。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京师范大学;稳力(广东)科技有限公司，未经北京师范大学;稳力(广东)科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911239897.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
