[发明专利]一种晶圆清洗液回收设备

摘要

本发明公开了一种晶圆清洗液回收设备，其结构包括移动回收装置、遮挡器、导流器、转盘、转轴、电机、推动装置，转盘底部与转轴相连接，转轴底部与设在导流器内的电机相连接，导流器的左侧设有遮挡器，移动回收装置安装在导流器下方，动回收槽与推动装置活动连接，导流器包括侧板、倾斜板、围板、底板，围板底部与底板相连接，围板的两端分别连接有侧板，倾斜板与底板、围板相连接，移动回收装置包括滑轨、回收槽、输出管、隔板、支板，本发明的有益效果是：通过设计能够使清洗液直接流到相应的回收槽，且不会出现溅出或漏水的现象，且能够通过PH值来判断清洗液的类型自动调节回收槽的位置，更加智能。