[发明专利]处理衬底的装置和方法在审
| 申请号： | 201911240311.4 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN112095089A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 郑珉珍;金泰焕;姜民雄;刘炫准;姜盛皓;朴松焕;金甫宣;李弘源;赵柱铉;晋龙铎 | 申请（专利权）人： | 爱思开海力士有限公司;株式会社EUGENE科技 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/52;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 王建国;许伟群 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于处理衬底的装置包括：反应管、侧盖、加热器、第一气体供应器、第二气体供应器和控制器。反应管被配置为容纳衬底舟皿以处理衬底，在所述衬底舟皿中容纳多个衬底。侧盖被配置为容纳反应管。加热器衬在侧盖的内部。第一气体供应器设置于侧盖的上部，以第一供应速率将冷却气体供应到侧盖与反应管之间的空间。第二气体供应器设置于侧盖的下部，以不同于第一供应速率的第二供应速率将冷却气体供应到侧盖和反应管之间的空间。所述控制器控制所述反应管。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 衬底 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
