[发明专利]一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺在审
申请号: | 201911240318.6 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN110888191A | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 广东光栅数显技术有限公司 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G01B11/02 |
代理公司: | 广东腾锐律师事务所 44473 | 代理人: | 莫锡斌 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种阵列式指示光栅结构及其生产工艺,包括基板和安装在基板中的圆形光学玻璃,所述圆形光学玻璃中部设有多个指示光栅刻线,指示光栅刻线阵列式横向排列,相邻两个指示光栅刻线之间的栅距为19.5μm,指示光栅刻线为矩形且栅宽为9.75μm,指示光栅刻线上方设有零位基准电压光栅窗口而下方设有零位光栅窗口,指示光栅刻线阵列式横向排列,制造简单方便便于大批量生产,而栅距为19.5μm、栅宽为9.75μm的指示光栅与栅距为20μm、栅宽为10μm的主光栅相配合能够形成相位标准,提高位移信号准确度。 | ||
搜索关键词: | 一种 阵列 指示 光栅 结构 及其 生产工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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