[发明专利]一种三轴MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201911240938.X | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110926445B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郑青龙;刘爽 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种三轴MEMS陀螺仪，其包括第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，各质量块间通过弹簧梁和/或刚性梁连接；所述第一质量块被设置为可沿X轴方向活动；所述第二质量块被设置为可绕X方向轴线、Y方向轴线和Z方向轴线转动，并且当所述第一质量块沿X轴方向活动时驱动所述第二质量块绕所述Z方向轴线转动；所述第三质量块被设置为可沿X轴方向和Y轴方向活动，并且当所述第一质量块沿X轴方向活动时驱动所述第三质量块沿Y轴方向活动；所述第四质量块被设置为可沿X轴方向活动，并且当所述第三质量块沿X轴方向活动时驱动所述第四质量块也沿X轴方向活动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深迪半导体（绍兴）有限公司，未经深迪半导体（绍兴）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911240938.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种天线罩夹芯泡沫预制体
- 下一篇：电子装置
